Đo độ nhám bề mặt của tấm khuôn khung chì bằng kính hiển vi laser LEXT OLS5100 Olympus

Tấm đệm khuôn khung chì

Kiểm tra độ nhám của khung chì

Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, một chip mạch tích hợp (IC) thái hạt lựu được nhặt và gắn trên miếng đệm khuôn của khung chì. Trước khi chip IC cuối cùng được gắn, một chất kết dính (dán liên kết chết) được áp dụng cho miếng đệm chết. Dán liên kết khuôn dẫn điện hoặc không dẫn điện được sử dụng, tùy thuộc vào ứng dụng lắp. Bột nhão không dẫn điện bao gồm epoxy, polyimide hoặc các vật liệu nhựa khác. Khi miếng đệm khuôn khung chì đủ thô, độ kết dính của miếng dán nhựa không dẫn điện được tăng lên. Do đó, biết độ nhám của tấm khuôn khung chì là chìa khóa để quản lý chất lượng.

Có một số loại dụng cụ đo độ nhám bề mặt của một chất, nhưng một số ít phù hợp để đo độ nhám của khung chì.

1. Thiết bị đo độ nhám kiểu tiếp xúc có thể làm hỏng bề mặt do đầu dò đo của nó. Ngoài ra, đường kính đầu của các đầu dò này thường tối thiểu là 2 μm, khiến nó không phù hợp để đo độ nhám có kích thước micron trên một vật nhỏ hơn kích thước đó.
2. Giao thoa kế ánh sáng trắng có độ phân giải hai chiều thấp và phép đo độ nhám của nó để thu thập dữ liệu ba chiều XYZ có thể có độ chính xác đáng ngờ.

Giải pháp của Olympus: Đo độ nhám bằng kính hiển vi OLS5100

Các phép đo độ nhám sử dụng kính hiển vi quét laser 3D Olympus LEXT OLS5100 chính xác hơn so với dữ liệu độ nhám tuyến tính đơn thuần.

Lợi ích khi đo độ nhám của tấm khuôn khung chì

Kính hiển vi OLS5100 LEXT có những ưu điểm sau khi đo độ nhám của tấm khuôn khung chì:

1. Phép đo quét laser về độ nhám phẳng cho phép bạn thu được dữ liệu chính xác hơn so với dữ liệu đo độ nhám đường dây được hiển thị bởi thiết bị đo độ nhám kiểu tiếp xúc. Ngoài ra, bằng cách sử dụng ghép dữ liệu, các loại dữ liệu khác nhau được ghép lại với nhau theo chiều ngang có thể thu được, cho phép bạn đo diện tích rộng của một miếng đệm khung chì.
2. Không có nguy cơ làm hỏng tấm đệm chết vì không có sự tiếp xúc giữa kính hiển vi và bề mặt miếng đệm. Không cần phải lo lắng về độ chính xác của phép đo thấp hơn vì hư hỏng.
3. Trong phép đo độ nhám 3D với độ phân giải ngang 0,12 μm, có thể thu được dữ liệu có độ chính xác cao.
4. Độ nhám không chỉ có được dưới dạng dữ liệu số mà còn thu được và hiển thị dưới dạng ba loại dữ liệu hình ảnh (màu, laser và chiều cao), cho phép bạn kiểm tra kết cấu bằng cách xem dữ liệu số dưới dạng hình ảnh.
5. Kính hiển vi OLS5100 LEXT chỉ định khu vực đo và đo độ nhám.
   Sau khi đo, diện tích lớn hơn bề mặt phẳng vì diện tích độ nhám được thêm vào khu vực đo. Bằng cách so sánh khu vực đo với khu vực sau đo lớn hơn, có thể thu được thông tin bề mặt 3D ngoài thông tin chiều cao.

Ảnh

Hình ảnh đo hiển thị dữ liệu độ nhám phẳng