Quản lý chất lượng khi làm việc với các ống siêu mịn / Phân tích độ nhám bề mặt của một khu vực vi mô bằng kính hiển vi laser Olympus

Ứng dụng

Khi nhu cầu về các sản phẩm nhỏ hơn tiếp tục tăng, các bộ phận được sử dụng để sản xuất các sản phẩm này cũng trở nên nhỏ hơn. Các bộ phận này bao gồm thẻ thăm dò để kiểm tra chất bán dẫn và ống kim loại siêu mịn được sử dụng cho thiết bị y tế. Ngày nay, có thể sản xuất các ống kim loại siêu mịn có đường kính nhỏ tới 10μm, nhỏ hơn đường kính của một sợi tóc người. Sản xuất các ống kim loại cực kỳ mịn này đòi hỏi phải theo dõi cẩn thận cấu hình bề mặt trong quá trình uốn và vẽ, điều kiện gia công phóng điện áp dụng cho bề mặt và trạng thái của bề mặt cắt. Tuy nhiên, việc theo dõi các điều kiện này là có vấn đề vì các phần được gia công quá nhỏ nên các phương pháp phân tích thông thường không thể đánh giá chúng đúng cách.

Giải pháp của Olympus

Kính hiển vi laser quét 3D Olympus LEXT quét một khu vực vi mô bằng laser để đo cấu hình bề mặt mịn, hoặc độ nhám. Bút cảm ứng laser không tiếp xúc của kính hiển vi tái tạo chính xác hình dạng của một khu vực vi mô, điều gần như không thể thực hiện được bằng cách sử dụng đầu dò kiểu tiếp xúc. Độ phân giải ngang là 0,12 μm và độ phân giải bước là 5nm. Độ chính xác của phép đo có thể theo dõi được. Những tính năng này cho phép giám sát hiệu quả cấu hình bề mặt của ngay cả những bộ phận rất nhỏ.