Kính hiển vi kiểm tra bán dẫn AL120-12

Lý tưởng để kiểm tra back-end chi phí thấp hơn, bộ xử lý wafer AL120-12 là kính hiển vi kiểm tra bán dẫn tương thích với cả FOUP (hộp đơn vị mở cửa trước) và FOSB (hộp vận chuyển mở phía trước). Thiết kế an toàn và tiện dụng duy trì sự an toàn cho người vận hành đồng thời truyền các tấm wafer một cách hiệu quả, bao gồm các tấm wafer mỏng và cong.

Công thái học và dễ vận hành

• Với việc kiểm tra sau quy trình, người ta đặc biệt nhấn mạnh vào tính dễ sử dụng và công thái học. Hệ thống AL120-12 bao gồm kiểm tra vĩ mô hàng đầu, vĩ mô trở lại và kính hiển vi.
• Cánh tay nhặt chân không robot cung cấp định tâm không tiếp xúc của tấm wafer để đặt chính xác trên sân khấu kính hiển vi. Các tấm wafer có thể được xoay 360 độ trong quá trình kiểm tra kính hiển vi.
• AL120-12 kết hợp với kính hiển vi MX61L của Olympus cung cấp độ phân giải tuyệt vời và hình ảnh quang học chất lượng chính xác.
• Các nút điều khiển nằm ở trung tâm và đèn chiếu sáng macro trên bo mạch cho phép người vận hành duy trì vị trí tiện dụng và thoải mái, ngay cả trong thời gian dài kiểm tra.

Xử lý mạnh mẽ, đáng tin cậy và an toàn

• • Olympus tiếp tục với chuyên môn đã được chứng minh của họ trong việc xử lý wafer với mô hình AL120-12. Thiết kế mạnh mẽ và đáng tin cậy của nó duy trì tính toàn vẹn của tấm wafer và đảm bảo xử lý an toàn cho các tấm wafer 300mm.
  • Việc chuyển các tấm wafer mỏng và  dễ cong có thể được chuyển một cách an toàn bằng cách sử dụng bộ xử lý AL120-12.