1. Ứng dụng
Vật liệu trong suốt được sử dụng trong các quy trình sản xuất khác nhau cho thiết bị điện tử, chất bán dẫn và linh kiện điện tử, và nghiên cứu cơ bản. Một ứng dụng phổ biến là đo chiều cao (bước) của màng từ đế thủy tinh mà màng trong suốt đã được áp dụng. Bởi vì độ dày của màng phủ ảnh hưởng lớn đến hiệu suất và chức năng của sản phẩm thu được, điều quan trọng là phải đo độ dày của màng sau khi nó đã được áp dụng để đảm bảo Đó là chiều cao chính xác.
Đo chiều cao của một bộ phim trong suốt từ lâu đã là một thách thức. Sử dụng kính hiển vi quang học để đánh giá cấu hình bề mặt của phim rất khó khăn vì độ trong suốt của phim khiến việc lấy nét rất khó khăn. Ngoài ra, vì các vật liệu không dẫn điện, nên cũng khó quan sát phim bằng kính hiển vi điện tử, đòi hỏi phải có màng kim loại lắng đọng trên bề mặt. Máy kiểm tra bước kiểu tiếp xúc cũng có vấn đề vì bút stylus có thể làm hỏng bề mặt của phim.
2. Giải pháp Olympus – Evident
Với kính hiển vi quét laser 3D LEXT, ánh sáng phản xạ được tập trung bởi hệ thống quang học đồng tiêu có thể được trích xuất để ngay cả sự phản xạ từ bề mặt phim trong suốt với độ phản xạ thấp cũng có thể được chụp bởi đầu dò độ nhạy cao. Quan trọng nhất, kính hiển vi sử dụng ánh sáng laser để cho phép đo hồ sơ bề mặt không tiếp xúc đáng tin cậy mà không làm hỏng mẫu.
Hình ảnh
(1) Bước của một lớp màng trong suốt: 7.095 μm
(2) Bước của một + hai lớp màng trong suốt: 28.819 μm
(3) Bước một + hai + ba lớp màng trong suốt 36.739 μm
Kính hiển vi quét laser LEXT™ OLS5100 kết hợp độ chính xác vượt trội và hiệu suất quang học với các công cụ thông minh giúp hệ thống dễ sử dụng. Các nhiệm vụ đo chính xác hình dạng và độ nhám bề mặt ở cấp độ submicron rất nhanh chóng và hiệu quả, đơn giản hóa quy trình làm việc của bạn và cung cấp dữ liệu chất lượng cao mà bạn có thể tin tưởng.