Máy đo quang phổ vi mô cung cấp các phép đo tốc độ cao, có thể lặp lại bằng cách sử dụng cách tử quang học và cảm biến đường thẳng. Bề mặt cong và các đốm nhỏ có thể được đo mà hầu hết các máy đo quang phổ không thể đo được.