Dòng wafer AL120 Olympus cung cấp khả năng chuyển nhanh chóng, an toàn cả silicon và wafer bán dẫn hợp chất từ băng cassette sang giai đoạn kính hiển vi. Được thiết kế để tăng thông lượng sản phẩm, bộ xử lý wafer kết hợp với kính hiển vi bán dẫn MX63 của chúng tôi để có giải pháp kiểm tra wafer đáng tin cậy.
Kính hiển vi kiểm tra bán dẫn AL120
Kính hiển vi kiểm tra bán dẫn AL120 Olympus là kính hiển vi evident cho phép dễ dàng chuyển cả silicon và tấm bán dẫn hợp chất, bao gồm silicon carbide (SiC) và gallium arsenide (GaAs), từ giai đoạn băng cassette sang kính hiển vi với khả năng nâng cao và tính linh hoạt, tất cả trong khi vẫn duy trì thiết kế tiện dụng, thân thiện với người dùng.
| Thông số kỹ thuật của AL120 Wafer Loader*1 | ||||||||
| Loại 200 mm | Loại trần 200 mm / 150 mm | Loại 150 mm | ||||||
| AL120- LMB8- 90 |
AL120- LMB86- 180 |
AL120- LMB8 |
AL120- LMB6- 150 |
AL120- L6- 150 |
||||
| Kích thước wafer (tiêu chuẩn SEMI) | 200 mm | 200 mm / 150 mm | 150 mm / 125 mm / 100 mm |
|||||
| Độ dày wafer tối thiểu | 90 μm | 180 μm | 400 μm | 150 μm | ||||
| Loại băng cassette | Bán dẫn stad. 25 (26)-khe cắm | |||||||
| Số lượng băng cassette | 1 | |||||||
| Cách kiểm tra | Tất cả / Lấy mẫu | |||||||
| Trình tự kiểm tra | Micro (Kính hiển vi) | CÓ | CÓ | CÓ | CÓ | CÓ | ||
| Macro hàng đầu | CÓ | CÓ | CÓ | CÓ | ||||
| Quay lại Macro | CÓ | CÓ | CÓ | CÓ | ||||
| Quay lại Macro lần thứ 2 | CÓ | CÓ | CÓ | CÓ | ||||
| Định hướng wafer (mỗi 90 °) | Không tiếp xúc (O.F./Notch) | Không tiếp xúc (O.F.) | ||||||
| Mô hình kính hiển vi tương thích | Kính hiển vi kiểm tra MX63 cho chất bán dẫn và màn hình phẳng | |||||||
| Kích thước (mm) | Chỉ thân máy 640 (W) x 620 (D) x 378 (H), 1100 (W) x 620 (D) x 378 (H) với kính hiển vi | Chỉ tính thân máy 570 (W) x 620 (D) x 401 (H), 983 (W) x 620 (D) x 401 (H) với kính hiển vi | ||||||
| Trọng lượng (kg) (Chỉ thân chính) | 44 | 44 | 44 | 40 | 37 | |||
| Tiện ích (Tiêu thụ điện năng / Chân không) | AC100 V – 120 V, 1 A hoặc AC 220 V – 240 V, 0,5 A 50/60 Hz, -67 đến -80 kpa, 20 lít/phút trở lên | |||||||
Kính hiển vi cấu trúc
Kính Hiển Vi Kim Tương GX53
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.